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진공계측기는 진공도를 비례측정하여 시각적으로 나타내는 계측기로 진공영역에 따라 저진공,중진공,고진공,초고진공으로 구분되며 영역에 따라 측정하는 방법이 다릅니다. PJKODIVAC에서 생산되고 있는 진공 계측기 종류로는 Pirani Gauge,Penning Gauge,Ionization Gauge로 대기압에서 초고진공까지 고객의 요구에 따라 다양하게 선택하여 사용할 수 있습니다.
Pirani Gauge 는 물질이 가진 특성상 열이 발생하면 전기저항이 증대하게 되는데 이를 이용한 Bridge Circuit에서 저항의 변화에 의해 전압차이가 나는 것을 이용한 원리입니다.
PT-3P 1~1×10-3Torr (Analog)
PT-3PM 1~1×10-3Torr (Analog,2 independent set point)
PT-9P 760~1,1~1×10-3Torr(Analog, 2 automatic range)
PT-1DA 760~1×10-3Torr(Digital, 2 independent set point, 최대 3채널)
PT-1DB 760~1×10-3Torr(Digital, 2 independent set point)
TR-1DA 6.66~1×10-3Torr(Digital, 6 independent set point,최대 3채널)
TR-1DB 6.66~1×10-3Torr(Digital, 1or 2 idependent set point)
VSPI-3001 760~1×10-3Torr(Digital)
VSPI-3002 760~1×10-3Torr(Digital, 2 independent set point)
Penning Gauge
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